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超纯水设备有力保障晶圆品质

文章出处:作者:发表时间:2021-07-13 16:08:08

   晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后、形成硅晶圆片,也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。晶圆生产工艺中会使用到大量超纯水,超纯水是精密元器件生产品质的重要保障。超纯水生产设备现多采用反渗透水与电去离子(EDI)设备相结合生产工艺,是一种环保、经济、有发展潜力的超纯水制备工艺,相较于传统超纯水制备工艺具有以下优势:

  

 

  1、再生不需要再生化学品。EDI水处理工艺不需要添加任何化学品,减少了化学品的输送问题,同时降低了系统的运行成本。

  2、不需要中和剂。EDI膜块不会产生酸碱废液,不需要酸碱中和罐。EDI水处理系统产生的浓水一般可以回收利用。

  3、整个系统运行成本低。EDI超纯水设备主要消耗电力维持系统运行,低于传统的混床工艺。

  4、水资源利用率高。与混床工艺相比,EDI超纯水设备的水利用率可达95~99%,有效地提高了水资源的利用率。

  5、EDI超纯水设备无需更换树脂即可连续工作,自动化程度强,无需人工操作。

  6、EDI超纯水设备结构紧凑,占地面积小,安装方便。

  该超纯水制备工艺能连续稳定地制备出符合晶圆生产需求的超纯水,不会因树脂再生而停止运行。设备结构设计比较紧凑,占地面积很小,可以为企业节省很多空间。超纯水设备出厂前需要调试,设备故障概率小,日常维护维修操作非常简单。